突破“卡脖子”技术

ginsburg

沈阳半导体产业能形成与北京、上海鼎足而立的态势，离不开沈阳高新区崛起的IC装备产业集群。沈阳芯源微电子设备有限公司等3家企业在科创板上市。

　　“突破‘卡脖子’技术，保障国家产业安全是我们义不容辞的使命。”沈阳芯源微电子设备公司董事长宗润福说，20多年来，企业连续承担国家科技重大专项，成为中高端涂胶显影机的国内唯一供应商。企业成功研制了国内首台具有自主知识产权的集成电路前道芯片制程领域用单片式清洗机，填补了国内空白，并在纳米喷嘴工艺技术应用开发等方面实现重大创新。